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声光调Q激光器的一个重要特性就是高重复频率(通常可以达到200KHz),因而被广泛应用于工业生产中,但是他们在调Q过程中,对于基模能量的最大损耗只能达到80%左右,所以其所能达到的峰值功率受到限制,相比于声光调Q,电光调Q的最大损耗却可以达到100%,其所能达到的能量仅受限于放大的自发辐射,诸多激光器的应用都要求激光器能输出高脉冲能量、窄脉宽、高峰值功率的脉冲,电光调Q激光器能很好的满足这一要求,同时由于532nm具有的波长短、光子能量高、在水中传输距离远和对人眼敏感等优点,使得电光调Q的532nm脉冲激光器成为研究的重点。目前,大部分关于绿光532nm脉冲激光器的报道都集中于灯泵或端泵的激光器,而对半导体侧面泵浦窄脉宽绿光激光器报导不多,本文主要研究了以下几部分内容：1、介绍了电光调制的物理基础,讨论了几种常用的电光晶体KD*P.BBO.LiNb03. RTP.LGS的特性,接着从脉冲激光器的输出特性出发,阐述了调Q技术的基本原理,从电光调Q速率方程出发,分析了影响电光调Q脉冲激光器参数的因素,谐振腔内的光子数、调Q脉冲的峰值功率,输出的能量及单脉冲能量的利用率,调Q脉冲的时间输出特性。给出了KD*P晶体退压式和加压式的光路图,对其调Q的原理作了详细的说明。2、对两种常用的倍频晶体KTP晶体和LBO晶体的特性作了简要的介绍,然后从稳态耦合波方程出发,通过光倍频及光混频的稳态小信号解,分析了影响倍频效率的因素,并介绍了相位匹配方法。3、研究了在低重复频率电光调Q情况下,半导体脉冲激光侧面泵浦Nd:YAG晶体腔外二倍频532nm绿光激光器的输出特性.当泵浦电流为108A、重复率为100Hz时,532nm绿光激光最大单脉冲能量为8.12mJ、脉宽12.2ns,峰值功率0.625MW。4、介绍了采用上述激光器作为泵浦源的激光内雕机系统,分析了影响基模高斯光束的聚焦强度和聚焦光斑大小的因素。估算了该激光内雕机的功率密度,给出了该激光内雕机工作时的及内雕后水晶内雕效果的实物图。