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本论文对C60/聚甲基丙烯酸甲脂（PMMA）这种新型复合薄膜材料开展了较系统的研究工作，着重介绍了用溶胶凝胶方法制备C60/PMMA复合薄膜的一般原理，并对所制得薄膜的有关特性进行了细致研究，参照实验结果对可能成膜机理进行了初步探讨。 采用溶胶-凝胶的方法，在Si（100）衬底上制备了C60/PMMA复合膜。红外光谱（FTIR）分析表明，C60分子已成功地掺入薄膜中，且在掺杂后C60分子结构未被破坏。应用X射线衍射分析技术（XRD）研究了该复合膜的结构，发现C60/PMMA复合膜中的C60分子趋向相互聚集并形成晶化的C60颗粒，随着C60掺杂浓度的增加，C60颗粒尺寸逐渐增大。经高温真空退火处理，高富勒烯含量的复合膜中多晶状态的C60颗粒呈现面心立方（FCC）结构（111）方向的择优生长，同时发现，不同的退火温度对复合膜结构的影响很大。结合TEM（透射电子显微镜）分析结果，对复合膜结构进行了进一步深入的分析。 理论分析表明，C60/高聚物体系是一种良好的电荷转移体系。本论文利用激光拉曼光谱（Raman）、紫外-可见光吸收谱（UV-Vis）等综合测试手段对所得薄膜的电荷转移现象进行了研究。室温条件下的Raman光谱结果发现，在C60/PMMA复合膜中C60的五边形伸缩模式Ag（2）特征峰位有明显的“红移”现象，这种声子软化现象在该体系中尚属首次发现。将该实验结果与石墨体系理论计算进行比较，结果基本吻合，证实该“红移”现象是由于C60与PMMA间的电荷转移效应引起的。对样品的UV-Vis分析结果发现样品经过退火后电荷转移现象明显增强，吸收峰位显著红移且峰形展宽，对比复合膜结构分析结果，我们推测该状态下的电荷转移现象与薄膜的结构有很大关系，并从实验上发现C60含量为5％的样品在200℃条件下退火时电荷转移最为明显。 作者也从事了一部分真空蒸发法制备纯C60薄膜的研究工作，在经表面钝化的Si衬底上制备出了具有（111）取向的C60薄膜。用X射线衍射技术对C60薄膜进行了分析，发现衬底温度的高低对C60薄膜的取向生长关系不大；真空度的不同导致石英管内C60过饱和度的不同以及分子平均自由程不同，进而强烈影响C60成膜质量；同时发现衬底晶格是否匹配与C60取向膜的生长关系不大，而具有弱表面键的衬底有利于C60膜的取向生长。