近年来,随着科技的不断发展,在精密机械、集成电路生产等许多精密加工工业领域对测试精度的要求越来越高。因此,研究测试系统中的关键技术有助于更好地理解精密测量。本文围绕单频激光干涉仪关键技术展开研究,其主要研究内容如下：阐述了基于偏振光的集成迈克尔逊干涉仪系统的原理与方法。首先根据迈克尔逊干涉原理分析了单频激光干涉仪结构；其次基于琼斯矩阵理论,讨论了正交偏振激光干涉仪数学模型,最后详细分析了整个光路系统的干涉原理。搭建了单频偏振激光干涉仪系统的光路系统部分和电路系统部分。采用光电探测器BPW34设计了光电转换电路,通过对称布置光电探测器的位置减少直流漂移对测量信号的影响。介绍了系统中误差的来源并采用以Heydeman模型为基础的在线正交信号误差校正方法,利用LabVIEW软件对测量信号的误差进行修正。测试了系统输出的干涉信号,通过测试说明本系统可以实现纳米分辨率。并且从光路、电路以及外界环境三个方面,进行了系统误差分析。