【摘 要】
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铁电薄膜的制备、结构、电性能及其应用已成为国际上新材料研究的一个十分活跃的领域.铁电薄膜器件需要开发具有多元耦合效应的材料和结构体系,对材料结构和性能的可靠性要求
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铁电薄膜的制备、结构、电性能及其应用已成为国际上新材料研究的一个十分活跃的领域.铁电薄膜器件需要开发具有多元耦合效应的材料和结构体系,对材料结构和性能的可靠性要求更高,其中锆钛酸铅(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>,PZT)系列铁电薄膜由于具有优良的介电、压电和铁电性能是制备薄膜电容器、微型压电驱动器、铁电动态存储器等的理想材料.
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