压电材料是SAW器件基本材料,该基片材料是影响SAW器件性能的一个决定性因素。在压电基片的各项性能中,SAW的传播速度是最重要的指标之一,它直接决定了器件的谐振频率,所以在SAW器件的批量生产中了解基片声表面传播速度及其一致性显得非常重要。在目前国内外对表面声速检测的报告中,检测方法不是破坏性检验就是过程复杂,均不可能作为批生产中一种常规的检测手段。在本论文的研究实验过程中,给出了一种方便、有效、无损、快捷的检测压电材料表面声速的设计与实现,该设计中运用材料的压电效应和逆压电效应激励和接收SAW,并运用检测谐振频率的方法计算测量SAW速度,同时给出了对不同材料的实际测试结果以及与资料典型值的对比。在生产运用中,主要解决以下几个问题:1)对压电基片的SAW传播速度无损测量,在生产中对不同速度的晶片进行分类使用,应用于生产以便对频率一致性进行控制。2)对回收片、混淆片制定了可操作的无损快速分辨目前常用的压电基片的手段和规范,应用于生产。3)利用该仪器无损快捷的测量特点,对不同方法背面处理后的晶片进行分析测量,分析其对不同体声波寄生响应的抑制作用,以及对SAW器件的各项性能产生的影响,结合生产,对不同种类特性的器件所用基片材料作出规定,并应用于生产。同时,依据实验过程中的结论,在实际生产中在中频器件和高频器件中选代表产品实验进行批量生产,检测其一致性,结果表明,光刻探针测试成品率以及片与片之间的频率一致性均有大的提高。说明该仪器作为一种适合生产的、快速无损的测量压电材料表面声速的手段,能在生产中控制由声速造成的差异、鉴别材料类型及切型,对提高声表器件批生产的成品率和工艺稳定性以及缩短生产周期都起到较好的作用。最后,论文提出该仪器绝对精度的确定以及对SAW原材料其他性质的检验需要进一步的实验与研究。