多干涉图组合测试中的空间一致性研究

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在近代光干涉测量技术中,对于干涉图的识别方法是其与传统的光干涉测量技术的本质的区别。数字球面干涉仪基于移相干涉技术,自动采集数字干涉图,并通过波面求解算法准确计算出其中所包含的波面信息。进行绝对检验时,需要对多个对象进行测试,并对波面做点对点的运算。因此,保障各个测试对象之间相对位置的准确则成了一个控制误差的关键因素。空间一致性理论基于对数字干涉图的识别,提取空间位置特征参数及分析一致性精度,达到辅助调整的目的,从而实现高精度的测量。本文研究多干涉图组合测试中的空间一致性。文中首先介绍了
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