极紫外光源作为下一代光刻光源很有希望于14m技术节点导入半导体芯片的工业化生产,接替193nm深紫外光源,而对应的极紫外光刻技术将成为最主要的光刻技术方式。目前,阻碍激光等离子体极紫外光源投入大规模工业化生产的主要因素之一,是激光等离子体光源在工作过程中产生的碎屑污染问题。由于光源工作过程中激光与靶材相互作用产生高温高热等离子体,辐射出所需波段的极紫外光,这个过程中会伴随产生具有相当动能的离子碎屑和中性碎屑,冲击破坏和污染收集极紫外光的多层膜收集镜,导致光源输出效率的不断降低,严重影响光源的长期工作稳定性。本论文拟通过对锡、钆靶材激光等离子体极紫外光源中离子碎屑动能、角分布等动力学特性的研究,分析激光等离子体极紫外光源碎屑的产生及传播规律；并采用填充背景气体、施加横向磁场等手段对离子和中性碎屑进行减缓研究,分析相关实验条件对光源碎屑减缓效果的影响,给出对光源碎屑减缓的优化条件。