【摘 要】
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该论文研究了一种质子交换LiNbO沟道波导共线式声光偏转器,其特点是利用了沟道波导的横向约束,限制了声波的发散和衍射效应,使得窄孔径电极结构得以实现,从而增加了功率密度,
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该论文研究了一种质子交换LiNbO<,3>沟道波导共线式声光偏转器,其特点是利用了沟道波导的横向约束,限制了声波的发散和衍射效应,使得窄孔径电极结构得以实现,从而增加了功率密度,使总的声场驱动功率降低.该论文对LiNbO<,3>质子交换声光波导偏转器进行了理论分析、结构设计和器件部分制作.具体内容是:首先对质子交换LiNbO<,3>波导中的共线声光作用进行了阐述;然后根据此原理,提出了器件的结构设计和性能,包括波导宽度与叉指电极的指宽、指间距、有效声孔径、电极厚度以及器件的声光衍射效率、偏转角度、声驱动功率等参数.最后是器件的制作.以苯甲酸为质子源,制作了退火南子交换LiNbO<,3>平板波导和沟道波导,测试了波导的模折射率等参数,并作了数据分析和曲线所主合.
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