高频SAW器件高性能压电薄膜的制备及性能研究

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【摘要】

：

随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频率必须向更高频的频率区移动,声表面波(SAW)滤波器是现代无线移动通信系统的关键部件之一,其工作频率f是由材料的声表面波传播速度V和叉指电极的周期L决定的,即了=V/L:由于所采用的材料及加工工艺的限制,目前的声表面波器件,其工作频率很难达到GHz。金刚石具有非常高的声表面波传播速度,以它们为衬底在现有的工艺条件下很容易制作出GHz的薄膜型SAW滤波器,

【作者】

：

王芳

【机构】

：

天津理工大学

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

声表面波滤波器磁控溅射氧化锌薄膜铌酸锂薄膜压电薄膜择优取向

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