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作为一种重要的电子功能材料,ABO3结构的复合氧化物La Sr Fe O3可以应用于各种领域,可用于高温固体氧化物燃料电池,也可用于薄膜传感器、催化剂、和铁电材料。本文采用溶胶-凝胶法,以乙酸镧、乙酸锶、硝酸铁、乙酸镍、乙酸镁、硝酸铬、乙酸钴、乙酸锰等为原料,以乙醇胺、乙酰丙酮为络合剂,按化学剂量配比配制20ml前驱体溶胶,陈化一天后在Si/Si O2/Pt衬底上旋涂制得湿膜,经400℃预处理300s,并经不同退火气氛(空气、氧气、氩气)下750℃退火得到LSF-M(M=Mg、Ni、Cr、Co、Mn)薄膜试样,研究元素取代、退火气氛对La0.5Sr0.5Fe O3薄膜结构、介电性能的影响。研究发现分别利用Mg、Ni、Cr、Co、Mn取代La Sr Fe O3薄膜B位的Fe元素,可以有效地改善其介电性能,并且在此基础上,又研究了不同退火气氛(空气、氧气、氩气)对LSF薄膜结构、介电性能的影响,研究发现在退火气氛为氩气时,可以优化LSF基薄膜的介电性能。并且XRD与SEM的分析表明元素取代与退火气氛均没有改变LSF薄膜的钙钛矿结构,且每组中性能最优的薄膜其表面平整,晶粒均匀致密,无明显孔洞裂纹等缺陷。Mg元素的引入提高了薄膜的?r,但随着Mg掺量的增加,La0.5Sr0.5Fe1-x Mgx O3薄膜相对介电常数逐渐下降,介质损耗逐渐增加,在Mg掺量为5mol%时,即La0.5Sr0.5Fe0.95Mg0.05O3薄膜介电性能最优。在不同退火气氛(空气、氧气、氩气)下La0.5Sr0.5Fe0.95Mg0.05O3薄膜介电性能有所变化,氩气中退火得到的La0.5Sr0.5Fe0.95Mg0.05O3薄膜介电性能最优,其相对介电常数为1632,介质损耗为0.041;空气中次之,其相对介电常数为1409,介质损耗为0.047,氧气中相对较低,其相对介电常数为1256,介质损耗为0.115。LSF薄膜中掺入Ni元素能改善其介电性能,随着Ni掺量的增加(0.2,0.25,0.3mol%),La0.5Sr0.5Fe1-x Nix O3薄膜相对介电常数呈先增大后减小的趋势,但均提高了?r,介质损耗呈先减小后增大趋势,在Ni掺量为0.25mol%时,即La0.5Sr0.5Fe0.9975Ni0.0025O3薄膜介电性能最优。薄膜氩气中退火得到的La0.5Sr0.5Fe0.9975Ni0.0025O3薄膜介电性能最优,其相对介电常数为1309,介质损耗为0.061;空气中的次之,其相对介电常数为1172,介质损耗为0.069;氧气中的相对较差,其相对介电常数为1137,介质损耗为0.079。LSF薄膜中掺入Cr元素均能提高其?r,随着Cr掺量的增加(0.5,1,3mol%),La0.5Sr0.5Fe1-x Crx O3薄膜相对介电常数呈先增大后减小的趋势,介质损耗呈先减小后增大趋势,在Cr掺量为1mol%时,即La0.5Sr0.5Fe0.99Cr0.01O3薄膜介电性能最优。在不同退火气氛(空气、氧气、氩气)对La0.5Sr0.5Fe1-x Crx O3薄膜的介电性能有很大影响,在氩气中退火得到的LSF-Cr薄膜均比空气、氧气下退火得到的薄膜介电性能优,La0.5Sr0.5Fe0.99Cr0.01O3薄相对介电常数值为1207,介质损耗数值为0.069;空气中的次之,其相对介电常数为1125,介质损耗为0.084;氧气中退火得到的La0.5Sr0.5Fe0.995Cr0.005O3薄膜,其介电性能相对较低,其相对介电常数为957,介质损耗为0.151。随着Co掺量的增加(0.2,0.4,0.6mol%),La0.5Sr0.5Fe1-x Cox O3薄膜相对介电常数呈逐渐减小的趋势,介质损耗逐渐增大的趋势,在Co掺量为0.2mol%时,即La0.5Sr0.5Fe0.998Co0.002O3薄膜介电性能最优。不同退火气氛(空气、氧气、氩气)对薄膜的介电性能有很大影响。对比不同退火气氛中介电性能最优的试样的介电性能,氩气中退火得到的La0.5Sr0.5Fe0.996Co0.004O3薄膜介电性能最优,其相对介电常数值为1396,介质损耗数值为0.045;空气中的La0.5Sr0.5Fe0.998Co0.002O3薄膜次之,其相对介电常数为1174,介质损耗为0.074;氧气中退火得到的La0.5Sr0.5Fe0.998Co0.002O3薄膜介电性能相对较差,其相对介电常数为887,介质损耗为0.121。在退火气氛为氧气或氩气时,随着Mn掺量的增加,La0.5Sr0.5Fe1-x Mnx O3薄膜相对介电常数呈现先增大后减小的趋势,介质损耗呈现相反趋势,并且均是在Mn掺量为5mol%时,薄膜的介电性能最优。在氩气中退火得到的La0.5Sr0.5Fe0.95Mn0.05O3薄膜介电性能最优,其相对介电常数为1423,介质损耗为0.056;氧气中的较差,其相对介电常数为1083,介质损耗为0.113。对比以上五种元素取代以及三种不同退火气氛对LSF基薄膜结构及介电性能的影响,发现Mg取代对La Sr Fe O3薄膜的介电性能改善最为显著,且在氩气中退火时,可以优化LSF基薄膜的结构及介电性能。