弛豫铁电薄膜PMN-0.26PT的制备及其性能的研究

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【摘要】

：

铁电薄膜材料具有良好的压电性,铁电性,热释电性,电光及非线性光学特性等,可广泛地应用于微电子学,光电子学,集成铁电学和微电子机械系统等,成为国际上新型功能材料与集成器件的研究热点。随着薄膜制备技术的不断发展,目前已经制成微传感器、FRAM器件、DRAM器件、热释电红外探测器、空间光调节器、光盘存储器、光波导器件等大量器件。铌镁酸铅(PMN)是典型的驰豫型铁电体,钛酸铅(PT)是四方晶系的正常强铁电

【作者】

：

田玥

【机构】

：

上海师范大学

【发表日期】

：

2011年04期

【关键词】

：

PMN-0.26PT薄膜磁控溅射法铁电介电光学常数热释电系数

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