随着世界范围内能源的短缺和环境问题的加剧，以太阳能为主的可再生能源的研究、开发和利用日益得到重视。太阳能发电主要有太阳能光热发电和太阳能光伏发电两种方式。对于太阳能热发电系统，其核心设备包括聚光集热装置、反射镜传动和跟踪系统；其中聚光系统包括定日镜群和跟踪装置，成本占总投入的50%以上。聚光系统中的反射材料在太阳能中高温应用系统以及聚光光伏系统中有着广泛的应用，它的好坏直接决定了太阳能光伏电池的转换效率与热发电的成本。高反射率的材料是提高上述过程太阳能利用率的关键。本文采用直流磁控溅射法在玻璃基材上分别制备了纳米Ag和Al薄膜，并采用射频磁控溅射法在其上镀一层SiO₂薄膜作为保护层，利用紫外可见近红外分光光度计测定了薄膜对可见光区（380⁷80nm）、太阳光区（300²500nm）的反射率；用EssentialMacleod光学薄膜分析与设计软件对Ag-SiO₂和Al-SiO₂反射薄膜进行了设计模拟，并对薄膜进行了耐磨性测试、附着力测试、抗老化性测试和退火处理等实验。结果表明，薄膜的反射率曲线呈周期性变化，当银膜的厚度为130nm和二氧化硅的为320nm或400nm时，膜反射率最高，太阳光和可见光反射率分别为96.66%和98.84%，并且膜材的耐磨性和抗老化性良好。过渡层Cu能增加Ag与玻璃基底的附着力。退火能提高膜材料的反射率；真空退火在350℃时反射率最大，随着退火温度的升高，反射率略有下降，但都比未退火时高。空气中退火，温度低于250℃时反射率比退火前有所提高，300℃以上反射率明显下降，甚至低于未退火时的。Al膜厚度选择为50nm较合适，且当SiO2保护膜的厚度为230nm时，反射率为89.50%。模拟计算结果与实验结果基本一致。无保护层的Al膜反射率比有SiO2保护层的高，但自身氧化形成的氧化铝薄膜会导致反射率减小，且其反射率随着氧化铝厚度的增加而减小（70nm之内）；当其厚度极薄时（0³0nm），太阳光反射率由91.13%稍降为88.41%，这对铝的反射率影响甚小。最后，设计及制备了薄膜：Glass/Ag（130nm）+SiO₂（400nm）+TiO₂/Air，探索了TiO₂的制备工艺及退火处理对薄膜亲水性的影响。