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薄膜材料在现代材料技术中应用广泛。光学镀膜技术中,经常在特定的衬底上沉积一层薄膜,可以改善材料的物理化学性质。许多工业和技术设备都需要覆盖具有特定化学性质的薄膜,薄膜材料具有许多独特的光学与电学性质,这些性质和薄膜本身的制作工艺有关,同时也与薄膜的厚度密切有关。因此,表征纳米量级的薄膜厚度具有十分重要的研究意义。在众多表面分析技术中,俄歇电子的采样深度一般为纳米级别,具有很高的表面灵敏度,适合材料表面定的性和定量分析,因此本文的主要研究目的是:整合当前最新的电子与固体原子的散射理论,用蒙特卡洛方法模