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透镜阵列是由一系列孔径尺寸相同的透镜、在基面上按照一定的分布规律排列而成,应用于光通讯、光传感、光信息、光伏、光显示与汽车照明等系统。由于装备和工艺的限制,透镜阵列的制作加工技术一直都是人们面临一项技术难题。特别是透镜阵列的应用逐渐由平面透镜阵列向曲面透镜阵列的方向发展,传统的平面透镜阵列的超精密加工技术已经无法满足曲面透镜阵列制备的工艺需求。本文的研究工作就是基于以上背景提出的,以典型的凹球面透镜阵列为研究对象,首先在传统金刚石快刀伺服车削平台的基础上增加旋转B轴,并采用压电陶瓷驱动的高频微进给装