超声波电动机是一种新颖的驱动元件，这种电机具有电磁感应电机不具有的优势，所以超声波电动机目前已经应用在很多工业领域。超声波电动机的驱动系统的优劣在一定范围内决定了超声波电机的运行特性，因此对超声波电机驱动技术的研究是十分之重要的。本文首先概述了超声波电动机的发展历程以及国内外对超声波电动机驱动技术的研究和应用现状，提出了超声波电机的驱动技术难点。通过对压电振子结构和定子振动机理的剖析，分析了超声波电动机的运行机理。介绍了电机定子等效电路模型的建模方法，通过实验的方法将电机定子等效模型的各个参数计算得出。其次，针对驱动系统的主要构成环节、逆变电路和阻抗匹配电路，对四种功率逆变电路拓扑结构进行仿真分析，认为相对优化的方法是半桥逆变电路。通过仿真分析得出较为理想的匹配方法为电感电容匹配方法。再次，针对开关脉冲信号的方式，用Verilog语言编写程序生成了对称开关脉冲驱动信号波形，产生的信号可以用于驱动全桥逆变器。提出了利用直流斩波电路完成调幅调速的方案，并进行仿真了验证。同时，对脉冲信号中特有的高次谐波，进行了对驱动性能影响的分析，提出了采用SPWM或SHEPWM信号以便于减小高次谐波的影响。最后采用线性驱动方法，完成了对超声波电机的调速特性的测量。通过电机的速度特性曲线分析得到了如下结论：仅仅使驱动信号的波形优化并不足以得到理想的驱动效果。进行了开关脉冲信号驱动实验，驱动信号分别采用50%占空比方波和SHEPWM波，总结出SHEPWM具有更好的抑制高次谐波的能力。