脉冲式半导体激光器有着广泛的应用。例如激光测距、激光雷达、泵浦固体激光器、脉冲多普勒成像等方面。随着脉冲式半导体激光器的飞速发展,其应用范围已经覆盖了许多领域,成为了当今光电子领域的核心器件,如何将其相应的驱动电路优化、经济化、微型化和实用化是以后该领域研究的方向之一。驱动电路需要进行模块化,采用混合集成电路的方式实现装配,缩小其物理尺寸,方便用户使用。本次研究任务不光要实现驱动电路的设计工作,同时要实现电路的混合集成化,故本次论文将分成电路设计和混合集成工艺实现两个方面分别进行研究和讨论。电路设计部分:本文分析了几种典型的激光驱动电路,设计了一套满足设计要求的脉冲式半导体激光器驱动电路。本驱动电路主要由电源供电电路、脉冲产生电路,脉冲整形电路、功率放大电路、ESD保护电路等五个部分组成。首先,电源电路将输入电压调整为5V以便供器件使用,接着通过由SN74123组成的脉冲产生电路将输入的方波信号转换为同频率的脉冲信号,然后经过由三极管N182和P182组成脉冲整形电路将信号放大,最后输出的脉冲信号作为P-沟道MOSFET管的开关信号,用于驱动半导体激光器。工艺实现部分:本驱动电路采用混合集成电路工艺制造生产,电路基板采用三氧化二铝陶瓷基板,电路布线采用薄膜金层与薄膜电阻进行布线,元器件使用贴片式电容和电阻以及裸芯片组成,内引线键合采用25um金丝球焊压焊,封装外壳采用双列直插的金属外壳,并在高纯氮气中进行平行封焊,以保证器件内部的气氛稳定。本文分析了混合集成电路工艺对器件电特性与可靠性的影响,并且进行了相应的试验,最终得到既适合生产又能满足器件质量要求与可靠性要求的生产工艺方案。最后,经过一系列的电参数测试与筛选试验考核后,认为本驱动电路完全能够满足设计与使用要求。