磁控溅射法制备CeO<,2>/TiO<,2>复合薄膜的微结构与性能

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【摘要】

：

二氧化钛薄膜是一种重要的光学功能薄膜，它有着独特的光学、电学等物理性能及优良的化学稳定性，在新型太阳能电池、微电子工业、光学器件和各种传感器等领域具有广阔的应用前景。本文以纯度为99.9％的TiO_2纳米粉体和99.99％的CeO_2粉体为原料，采用射频溅射法在硬质衬底(普通玻璃)和柔性衬底(对苯甲酸乙二醇酯，简称PET；聚酰亚胺，简称PI)上成功制备了CeO_2／TiO_2复合薄膜。利用X射线衍

【作者】

：

罗志华

【机构】

：

江苏大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

磁控溅射 CeO2/TiO2薄膜透光率禁带宽度

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