15CrMnMoVA钢磁控溅射镀铝耐腐蚀性研究

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采用直流脉冲磁控溅射技术在15CrMnMoVA钢表面制备了纯Al薄膜。采用SEM、厚度干涉仪、电子拉伸试验机、XRD、测试分析了该薄膜的形貌、厚度、相结构、附着性能,采用盐雾试验机分析对比了薄膜的耐中性盐雾性能,利用电化学工作站测试其极化曲线,从而分析其电化学性能。取得了如下结果:1)利用正交实验的原理设计了Al薄膜制备的正交实验方案。选择了负偏压、靶电流和炉压三个因素进行分析。结果表明:Al薄膜晶粒大小均匀,以柱状晶方式生长,膜/基界面平整,没孔、洞等缺陷,并且有一致密的过渡层;单位厚度(μm)的耐盐雾时间可达51.44h,大大提高了基体6h的耐盐雾时间;沉积Al薄膜后,基体的自腐蚀电流降低了近2个数量级;在Al薄膜沉积过程中,靶电流对其影响最大,偏压次之,炉压的影响作用最小,三个因素的优化值分别为25A、300V、0.35Pa.2)本文以优化工艺25A、300V、0.35Pa为基础,深入研究了负偏压、靶电流、炉压与Al薄膜性能之间的规律。实验过程中靶电流取10A、20A、25A、30A,偏压取-100V、-200V、-300V,炉压取0.25Pa、0.35Pa、0.45Pa、0.6Pa,分别进行研究,分析结果表明:靶电流取25A、偏压取-300V、炉压取0.35Pa时Al薄膜的耐腐蚀性能出现极值,与正交实验相吻合。3)采用阿洛丁配方对Al薄膜进行化学转化和喷丸后处理,对阿洛丁的浓度、反应时间作了系统的分析,得出如下结论:化学转化处理对Al薄膜起封孔作用,可以使Al薄膜的耐腐蚀性能提高9倍;浓度由8g/L增加到15g/L的过程中,晶粒会出现长大、团聚的现象;浓度为8g/L时,极化曲线表现出钝化现象,当浓度增加时,耐中性盐雾腐蚀性能逐渐降低;对40s、60s、120s、180s的反应时间进行分析发现,反应时间在40s~120s之间时性能较好。
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