【摘 要】
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本文以精密机械与精密仪器的关键技术之一—微位移技术为研究对象，介绍了包括直线电机式微位移机构、机械传动式微位移机构、扭轮摩擦传动式微位移机构、弹性变形传动式微位移
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本文以精密机械与精密仪器的关键技术之一—微位移技术为研究对象，介绍了包括直线电机式微位移机构、机械传动式微位移机构、扭轮摩擦传动式微位移机构、弹性变形传动式微位移机构、压电元件与电致伸缩式微位移机构、热变形式微位移机构、磁致伸缩式微位移机构、柔性铰链式微位移机构的结构在内的多种微位移机构，阐述了各机构的结构、原理、特点、应用及发展现状。同时本文以上述研究为基础着重阐述了压电／电致伸缩微位移器件和摩擦传动微进给机构两种微位移机构，并以实际器件和机构为例给出了其相关的使用特性。 最后，本文设计了一套机械式微位移机构，对其进行了精度分析并通过实验给出了该机构的微位移特性。
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