【摘 要】
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随着紫外技术的不断发展和应用领域的拓宽,紫外成像器件的性能愈发显得重要,因此对紫外器件成像质量的研究十分有意义。本文选择对紫外成像的核心器件——紫外像增强器,以及紫外像增强器与CMOS耦合而成的紫外ICMOS进行成像质量评价。用MTF（Modulation Transfer Function,调制传递函数）这一全面、客观的参数进行成像质量评价,设计了紫外像增强器和紫外ICMOS的调制传递函数测试系
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随着紫外技术的不断发展和应用领域的拓宽,紫外成像器件的性能愈发显得重要,因此对紫外器件成像质量的研究十分有意义。本文选择对紫外成像的核心器件——紫外像增强器,以及紫外像增强器与CMOS耦合而成的紫外ICMOS进行成像质量评价。用MTF（Modulation Transfer Function,调制传递函数）这一全面、客观的参数进行成像质量评价,设计了紫外像增强器和紫外ICMOS的调制传递函数测试系统,旨在为研制高成像质量的紫外成像器件提供一种有效评价手段。本文首先简要介绍了紫外探测和成像技术的发展和应用,以及MTF在国内外各类成像系统上的应用。然后对紫外像增强器和紫外ICMOS的基本结构、工作原理和性能参数进行了说明,并介绍了调制传递函数的理论基础和测试方法,通过对比分析后采用狭缝测试法并确定了测试方案。接着,根据测试系统技术指标要求搭建了硬件平台,包括紫外成像系统、图像采集传输系统以及调焦控制系统。之后基于硬件平台、测试算法和功能要求,用VC++编写了配套的MTF测试软件,包括初始化、图像采集、对焦控制、图像处理、数据计算和保存五个功能模块。最后,在系统校准的基础上获得了符合测试指标要求的MTF曲线,得到紫外像增强器和紫外ICMOS的截止频率分别在32lp/mm和18lp/mm左右,分析了器件之间的成像质量差异。并通过多次测试得到紫外像增强器和紫外ICMOS的MTF测试标准偏差分别低于0.02和0.015,满足测试重复性要求。实验最后进行了紫外辐射照度对紫外像增强器的MTF影响测试,并对测试结果进行了讨论和分析,为研制高成像质量的紫外成像器件提供理论依据和实验指导。
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