随着激光技术的不断发展,激光设备已解决各个领域通过普通工艺无法完成的技术难题,在各种激光器中,固体激光器具有结构牢固、稳定性强、良好的热性能和机械性能等优点,尤其适用于加工太阳电池。利用固体激光器制备局部背接触太阳电池能够满足工业生产对成本低廉且电池性能优良的需求。但不恰当的使用也会对电池造成损伤,若激光能量过大会使多余的热量传递至硅基底从而改变硅表面微结构。若输出能量过小,则会导致背沉积层不能被移除,电池串联电阻大,影响电池光电转换效率。所以降低激光器对硅片损伤,对于提高太阳电池效率具有重要意义。本课题主要通过以下三个方面,提高固体激光器加工晶硅太阳电池的电池性能。（一）优化固体激光器工作参数。通过理论与实验的方法,改变激光输出功率、扫描速度、重复频率等工作参数,对相同条件样片进行激光加工,通过比较有效少子寿命、发射级饱和电流、扩散区方块电阻等,得到最佳工作参数。（二）通过沉积减反层技术降低硅片表面载流子复合速率。在样品背表面沉积SiN_x、Al₂O₃薄膜和Al₂O₃/SiN_x叠层,利用硅片少子寿命表征实验结果:沉积SiN_x薄膜和Al₂O₃薄膜,少子寿命分别提高16.6%、18.5%。沉积Al₂O₃/SiN_x叠层少子寿命提高20.7%,优于前两者。（三）探究固体激光器加工局部背接触电池最佳工艺。实验分两部分进行:（a）先在硅片背表面沉积240nmSiN_x沉积层,然后利用固体激光器功率70%去除部分背表面沉积层,最终得到效率为17.05%的单晶硅电池。（b）先在硅片背表面沉积Al₂O₃/SiN_x叠层,再利用固体激光器70%去除部分背表面沉积层,最终得到效率为19.20%的单晶硅电池。综述,探索固体激光器在晶硅太阳能电池制备中的最佳参数及相应的工艺对于提高电池性能是十分有意义的。