能量回收技术是无线系统及便携式电子设备向微型化和实用化发展的关键技术之一。在各类能量回收技术中,振动能量回收技术因其能量密度大、输出功率高、易于系统集成化等优点,在MEMS应用方面得到了迅速发展。本文基于CMOS集成电路,提出了单级、双级两个新的非线性能量回收接口电路,使其成为一种高效、低功耗、集成度高的能量回收系统。主要研究内容和所得到的结论如下：(1)推导了标准能量收集电路(Standard)、同步电荷提取电路(SECE)、并联同步开关电感电路(P-SSHI)和串联同步开关电感电路(S-SSHI)四种经典接口电路的理论回收功率,分析了它们的最大输出功率与最佳负载匹配范围。结果表明,四种经典接口电路中P-SSHI电路回收功率最大,而SECE电路回收功率不受负载变化影响。(2)基于并联同步开关电感(P-SSHI)接口电路,设计了一种单级的高效压电能量收集芯片。芯片包括P-SSHI电路、控制电路和信号调理电路。芯片具有开关控制信号较少、控制电路结构简单、稳定性好的优点。输出端的设计能够有效地抑制回流效应,提高了能量收集效率。基于0.5 μm CMOS工艺仿真结果显示在相同激励下该芯片收集的最大功率可达178.2μW,是传统AC-DC整流电路的10倍以上(3)设计了一种新的双级能量回收接口电路,详细阐明了此接口电路的工作过程,推导了双级能量回收接口电路的理论回收功率,分析了使能量回收功率最大的控制开关的最优导通时间。此双级能量回收接口电路不仅回收功率大而且克服了前面单级能量回收电路输出功率受负载影响的缺点。通过Cadence仿真验证了该电路的功能符合设计要求。(4)搭建能量回收电路实验平台,分别测得恒定激振位移条件下四种经典单级能量回收电路的实际回收功率并验证实际回收情况和理论分析的吻合度。