加速度计作为惯性导航、精确制导装置中关键的惯性测试器件,被广泛地应用于汽车驾驶、无人机、弹道导弹、航天飞机、军舰轮船等领域的惯性导航系统中。加速度计性能的优劣将对整个系统最终呈现的精度效果起到非常重要的影响,因此需要在完全合格的测试环境下,利用极其稳定且高效的测试装置和测试方法对加速度计的各项性能参数进行严谨的测试分析,以保证所制造的加速度计的产品质量。激光自混合干涉是近年来渐渐兴起的一项光学精密测量技术,利用该技术所研制的激光自混合干涉装置凭借其结构简单紧凑、测量精度高、易于准直以及非接触性测量等优势,被广泛应用于航空航天、汽车导航、安全生产等测量领域,真正起到了减少应用成本,提高生产效率的实际效果,因此将自混合干涉装置应用于加速度计测试研究工作,将大大提高测试的效率,同时降低测试的成本。本文提出了一种基于激光自混合干涉装置的加速度计测试系统,将自混合干涉系统的外腔反射靶面和待测加速度计均固定于一个激振器振动端,根据不同的振动频率,分别采用条纹计数法或贝塞尔函数零值法从自混合干涉信号中解调加速度信息。通过对商用加速度计多组测试,得到利用该系统所测试的加速度计灵敏度约为24.33mV/g,该测试结果与加速度计制造商所给出的灵敏度参数相对比具有良好的一致性。在此研究基础上,本文进一步提出了一种改进型自混合干涉测试系统,将反射式衍射光栅集成到传统的自混合干涉装置中,结合光栅多普勒效应,设计了一款自混合光栅干涉加速度计测试系统。较传统的自混合干涉测试系统而言,激光自混合光栅干涉减小了光源频率涨落对测试结果的影响,增强了测试系统对外界环境的抗干扰能力,提高了该系统的实用价值,并对国际标准组织所规定的测试方法进行了适应性修改,最终通过对商用加速度计多组测试,结果表明该系统所测得加速度计灵敏度更加逼近于加速度计制造商所给出的灵敏度标准参数24.20mV/g,实验中利用测试系统测得的灵敏度最小误差可达到0.02mV/g,体现出良好的系统测试性能和测试精度。而且,该装置将测量的最小基准单元由原先的半个波长转化成固定的光栅栅距,提高了该系统投入到实际应用领域的可能性,体现出潜在的应用前景和使用价值。