过渡金属硅化物由于其独特的理化性质已被广泛地应用于半导体元件、薄膜涂层和热电材料等领域。近些年,由于金属硅化物具有优异的耐高温、耐氧化和耐腐蚀等性质,其作为新型的催化材料在许多加氢反应中表现出良好的催化活性。然而,传统的制备方法能耗高,合成时间长,且所制备的硅化物比表面积低,限制了其作为催化剂的进一步研究和应用。因此,开发新型的合成方法,进而制备出具有优异催化性能的金属硅化物纳米材料,并应用于精细化工中的加氢反应具有重要意义。微波合成具有时间短和能耗低等优点,是一种绿色的合成方法。本论文采用微波法制备了碳包覆和碳纳米管负载的过渡金属硅化物纳米催化剂,并探索了其催化肉桂醛选择加氢,邻苯二甲酸酐加氢脱氧以及二苯并噻吩加氢脱硫反应中的催化性能、动力学以及循环稳定性。主要研究成果如下:（1）以ZIF-67和MOF-74作为金属前体,通过微波辅助化学气相沉积法分别制备了掺氮碳包覆硅化钴催化剂Co_xSi@C-N和碳包覆不同过渡金属的硅化物催化剂M₂Si@C（M=Fe,Co,Ni）。在催化肉桂醛加氢反应中,硅化钴催化剂对C=O双键优先加氢,而硅化镍催化剂则对C=C双键优先加氢。（2）采用微波法制备了碳载不同相态的硅化钴催化剂,揭示了硅化钴的相变过程为:Co₂Si（斜方）→CoSi（立方）→CoSi₂（立方）。在苯酐加氢脱氧反应中,随着硅化钴相中钴含量提高,其催化活性逐步升高。（3）通过微波辅助化学气相沉积法制备了钴镍双金属硅化物,其中Co_1.5Ni_0.5Si@C催化剂在催化苯酐加氢反应中显示出双金属的协同效应,对苯酞的产率为89.6%,并显示出优异的抗酸稳定性。在二苯并噻吩加氢脱硫反应中,Ni₂Si@C催化剂表现出良好的催化活性。其中二苯并噻吩的转化率高达84.0%,直接脱硫的选择性为78.2%,且具有良好的抗硫稳定性。