MEMS加速传感器硬件电路设计与信号处理的研究

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采用微机械加工技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成化的特点,而且提高了使用的可靠性,降低了成本,这对于许多高新技术领域具有重要意义。加速度传感器就是MEMS技术应用的一个重要领域。在数字技术高速发展的今天,选择数字控制已经成为一种重要的探索和发展方向。DSP芯片与一般微处理器相比,具有高速,高效的特点。选用合适的DSP对加速度信号进行处理分析成为一种必然的趋势。在这样的背景下,本论文课题希望通过对DSP和MEMS惯性传感器的研究,研制和设计出一系列能够应用于军事,汽车或者其他领域的测试系统。主要进行了以下工作:设计了一种全新的四梁中心悬臂结构加速度传感器的硬件电路,并进行了电路的仿真。因为加工工艺的限制,本文只能选择一款与其相似的加速度传感器对其信号进行数字信号处理。在对比了不同的DSP和加速度传感器的情况下,本文选用了TI公司生产的TMS320LF2407DSP器件和AD公司生产的ADXL203加速度传感器,构建了一个信号处理系统,实现时域和频域数据高速运算,使加速度、速度,位移的实时测量快速可靠。基于CCS软件的开发流程,对系统进行了软件的设计,达到了很好的效果。应用傅里叶变换的计算方法,并且完成了FIR滤波器的设计,通过傅里叶正反变换和频率补偿实现工作频率范围内加速度信号动态误差修正,在DSP上实现了信号处理,真实地记录了信号数据。在加速度信号的数字处理过程中,采用软件和硬件抗干扰措施保证加速度信号的分辨率,较好地克服了模拟传输带来的干扰和噪声的影响,完成了系统的初步调试,取得了良好的效果。
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