【摘 要】
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干式真空泵广泛应用于航天、半导体、制药、化工等行业。随着我国工业化水平的不断提高,航天、半导体等行业对真空泵的需求也逐步提高。但是目前常用的干式真空泵体积大,质量
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干式真空泵广泛应用于航天、半导体、制药、化工等行业。随着我国工业化水平的不断提高,航天、半导体等行业对真空泵的需求也逐步提高。但是目前常用的干式真空泵体积大,质量重,而且转子的平衡性不理想。鉴于此,本论文对一种爪式真空泵进行了整体结构设计,并对核心部件——转子进行了平衡分析。首先,论文阐述了真空、真空泵及干式真空泵的概念以及爪式真空泵的组成和工作原理,给出了国内外有关真空泵研究的一些现状以及发展趋势。其次,提出了整体设计方法,完成了真空泵的整体结构设计。它主要包括泵壳的设计、转子型线的设计和主动轴的设计校核。,.泵壳的设计主要是考虑尽量减少重量和保证壳体的壁厚。转子型线是爪型转子主要的工作曲线,本文将它分为六段曲线,分别对每一段曲线的设计做了说明。第三,进行了真空泵转子的平衡分析。转子平衡主要分为静平衡和动平衡两类。静平衡主要研究了单个转子,由于转子形状不规则,在计算不平衡量时采用了割补的思想,将转子分割成五部分,每部分的都为规则形状,计算得出各部分产生的不平衡量。动平衡是针对三个转子的情况,将每个转子的不平衡量投影到两个不同的平衡面上,这两个平衡面选在轴承附近。两个平衡面上计算得出总不平衡量,然后在适当的位置加上一个配重。与以往通过在转子上加配重来平衡的方法不同,本文通过计算不平衡量,在转子本身特定位置去掉特定质量,使转子达到平衡。通过这种方法的改进和优化,真空泵转子的加工和装配时间大大减小。最后利用Pro/Engineer和ADAMS仿真软件对计算结果进行仿真。仿真结果验证了设计参数的可行性,为该真空泵产品化提供了设计基础。
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