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随着微结构表面的应用越来越广泛,人们对加工具有高效超光滑表面的光学元件提出了更高的要求。然而,传统的机械研磨抛光不仅会对工件的表面及亚表面造成损伤,表面质量也很难达到要求。大气等离子体抛光是利用等离子体与工件表面材料的化学作用去除材料,可以降低粗糙度值,不会造成表面破坏和亚表层损伤,理论上是解决微结构表面光学元件高精度、高效率制造的有效途径。等离子体加工中存在加工区域分辨率低的问题,由于等离子体的空间扩散,其加工范围约为等离子体炬口径的2~5倍,面形精度较低。因此本文提出了在工件表面覆盖一层液体膜,