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本文主要采用微波电子回旋共振等离子体化学气象沉积方法制备硬质类金刚石薄膜(DLC),并对DLC薄膜制备参数,结构成分以及性能进行了研究及表征。获得DLC薄膜制备的最佳工艺。利用微波电子回旋共振等离子体气象沉积(ECR-CVD)方法在单晶硅片上沉积DLC薄膜,实验过程中,以CH_4气体作为碳源,Ar气作为辅助电离气体,微波500 W将反应气体电离后,生成的高密度等离子体在基片表面发生复杂的化学过程,然后沉积在基片表面。为了获得本实验室设备制备DLC薄膜的最佳工艺,在其它条件不变的情况下,研究了不同基片