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AlN/Al2O3绝缘薄膜的离子束辅助沉积工艺及结构研究

来源 :中国地质大学(北京) | 被引量 : 0次 | 上传用户：hu1234

【作 者】

：

宫佳佳 

【出 处】

：

中国地质大学(北京)

【发表日期】

：

2021年01期

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