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微执行器作为微机械系统的核心部分，它可用于提供微机械系统所需动力，也可成为微机械系统的操作和执行单元。其中，静电微执行器是微执行器最常见、最广泛使用的一种。在微器件尺寸下，阻尼效应非常明显，器件尺寸越小，阻尼效应越大，这个特点严重影响了微器件的工作效率。当然我们可以设计真空封装工艺，但由于微器件应用广泛，在很多环境下直接与外界相互作用，针对这种情况，提出了穿孔板的设计概念。穿孔板可以有效地减小阻尼效应，因此，在现有大量平行板Pull-in现象研究成果的基础上，研究穿孔板的Pull-in参数是非常必要