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固定金属亲和捕捉(Immobilized Metal Affinity Capture，IMAC)蛋白质芯片是分离纯化蛋白质最有效的工具之一，与SELDI质谱检测技术相结合对于肿瘤标记物的筛选意义重大。研究与制备具有能有效鳌合蛋白质的芯片材料是该领域新的研究课题，对蛋白质芯片的普及及其性能的提高具有重要的现实意义。本文利用射频磁控溅射、溶胶凝胶、热氧化三种方法分别在铝基片和硅片上制备了硅氧化物薄膜作为IMAC蛋白质芯片载体，对薄膜的表面形貌、结构、结合性能进行了实验研究。结果表明：