利用激光分子束外延方法制备Bi4Se3薄膜及其结构表征与介电性能研究

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层状硒化物(包括Bi2Se3、Sb2Se3、In2Se3等)作为半导体材料,由于其独特的能带结构和性能,具有很好的发展前景,如今已经被广泛的应用于光电和热电等方面。传统热电材料Bi2Se3被证明是一种三维强拓扑绝缘体,其特殊的性能吸引了大量学者的关注。最近,研究人员通过计算分析预言Bi(111)薄膜是二维的拓扑绝缘体。Bi2Se3的五原子层结构单元与Bi的双原子结构单元通过一定堆积方式,形成层状的(Bi2Se3m(Bi2n系列材料。因此对(Bi2Se3m(Bi2n系列材料的研究是一个非常有意义的课题。本论主要研究的是Bi4Se3薄膜的制备与表征和通过第一原理研究对Bi4Se3的物性进行分析。主要工作如下:(1)利用激光分子束外延法(LMBE)设备在蓝宝石(Al2O3)衬底上制备Bi4Se3薄膜,其中合适的参数对薄膜的生长起着至关重的作用。本文通过改变沉底的温度和每个激光脉冲能量,制备出大量的薄膜样品,利用反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和原子力显微镜(AFM)对得到的Bi4Se3薄膜进行结构表征,分析不同衬底温度和激光脉冲能量对薄膜样品质量的影响,从而获得制备最佳Bi4Se3薄膜的工艺参数。研究结果表明:当衬底温度为370℃和每个激光脉冲能量为150m J时,制备的Bi4Se3薄膜样品表面平整、结晶质量良好和成分接近理想配比。(2)利用Materials Studio软件构建Bi4Se3的模型,对优化后的Bi4Se3模型进行第一原理计算,发现Bi4Se3薄膜呈半金属特点。对态密度和投影态密度分析,得到Bi、Se原子的P轨道对费米能级附近价带贡献很大,而不是来自s轨道的贡献。对介电性能分析,发现Bi4Se3薄膜在频率为2.128×1014Hz处位移极化强度最大。低频时损耗很小,在4.1×1014Hz时损耗达到极大值。对光学性能分析,发现Bi4Se3薄膜在紫外波段有较高的吸收系数,可做紫外电子探测材料。
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