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类金刚石膜(Diamond-like carbon),是一种非晶态的碳材料。由于具有许多同金刚石相近的性质,类金刚石膜技术已经在很多领域得到应用。掺杂的DLC膜作为一种半导体材料,其禁带宽度在1—4eV内可调,可以在太阳能电池、光电探测器等光电器件领域得到应用。在现有的DLC电学性质研究中,DLC与金属的接触采用Al,Au等金属,并假设DLC与金属的接触为欧姆接触,还没有发现证实Al,Au与DLC形成欧姆接触,或者探索其他金属与DLC之间接触性质的研究。本文利用射频等离子体增强化学气相沉