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光学自由曲面作为制造技术和光学工程领域相互促进而出现的典型特征表面,为光学领域发展注入了新的活力。它不但可以简化系统结构、减轻系统重量,也使系统光学性能有很大程度提高。为满足光学应用性能的要求,需要依靠高精度加工予以保证。超精密加工过程中不可避免地受到机床几何误差、刀具误差、热误差等各种误差的影响,降低光学元件的加工精度,进而影响光学元件的最终使用性能。目前加工误差的相关研究主要集中在加工误差建模、测量和补偿等方面,但超精密加工过程的误差项较多,难以实现对所有误差项的测量和补偿,因此,需要研究各个加