多孔硅基/一维金属氧化物复合结构的制备与气敏性能研究

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据报道影响城市空气质量的首要污染物主要是PM10,占98.7%,SO2占1.0%,NOx占0.3%,其中NOx是一种致命的有毒气体以及环境污染物,而NO2气体是NOx的典型代表。纵观对NO2气体敏感的材料中,低维金属氧化物半导体由于具有高比表面积,电子定向传导,成本低廉等优点而备受关注。本文对气敏传感器的定义与分类、主要特性参数及表征、金属氧化物纳米结构气敏机理简单概述之后,重点对四种非传统的NO2气敏材料(TeO2、WO3、硅基多孔硅以及硅基多孔硅复合材料)的最新研究与发展概况进行了系统的总结。开展了制备硅基多孔硅TeO2纳米线,硅基多孔硅WO3纳米棒气敏元件并对其气敏性能进行全面分析的创新性实验工作,取得了如下结果:(1)首次以硅基多孔硅作为生长基底,碲粉作为生长原料利用热蒸发法在多孔硅上原位生长TeO2纳米线,并制备出p型多孔硅基-p型TeO2纳米线复合结构气敏传感器。利用SEM,TEM以及XRD等表征手段分析了生长在多孔硅基上的TeO2纳米线微观形貌以及晶体结构。TeO2纳米线直径约为100-200nm,长度约为15μm,物相为四方相。首先系统对比研究了硅基多孔硅TeO2纳米线复合结构以及多孔硅气敏元件在不同温度下(26-150℃)对氧化性气体NO2(0.05-3ppm)的气敏性能。其次还对比了硅基多孔硅TeO2纳米线复合结构以及其它已经报道的TeO2纳米结构气敏传感器的气敏性能。最后测试了复合结构气敏传感器的重复性以及选择性。结果表明硅基多孔硅TeO2纳米线复合结构气敏元件在室温下对NO2气体表现出高灵敏度,稳定的重复性以及杰出的气体选择性。(2)改变了制备多孔硅的硅片类型,制备了上面覆盖有一层絮状结构的多孔硅,将该种多孔硅作为生长基底利用热蒸发法成功制备了p型多孔硅基-p型TeO2纳米针复合结构,优化出该复合结构气敏传感器的最佳工作温度,然后在最佳工作温度(室温)下测试了气敏元件对浓度范围为5-500ppb的NO2气体的动态响应曲线。结果表明该复合结构气敏传感器表现出极低的探测极限,探测极限可达5ppb。(3)以钨酸钠和氯化钠为原料在180℃下利用水热法成功制备了六方WO3纳米棒。利用SEM,TEM以及XRD等表征手段分析了WO3纳米棒的微观形貌以及晶体结构,结果表明纳米棒的团簇现象与前驱液的pH值有着重要的联系,通过调节pH值首次制备出在常温下对NO2气体具有敏感特性的六方WO3纳米棒(直径约为100-150nm,长度约为4μm)气敏传感器。测试了WO3纳米棒气敏传感器在不同温度下(25-250℃)对氧化性气体NO2(0.5-5ppm)的气敏性能。结果发现六方WO3纳米棒气敏传感器在不同的温区内表现出不同的半导体特征,在25-50℃表现为p型半导体特征,在50-250℃表现为n型半导体特征。(4)研究了不同热处理温度对WO3纳米棒微观结构以及室温下气敏性能的影响。利用SEM以及XRD等表征手段分析了WO3纳米棒在热处理前后的微观形貌以及晶体结构的变化。结果发现在热处理之后,WO3纳米棒发生了一定的团聚,同时XRD物相分析表明经过300以及400℃热处理之后,样品XRD图谱中产生了新的物相-单斜相WO2.83,但是经过500℃/2h热处理时单斜相WO2.83的特征峰消失。经过不同温度热处理之后的样品在室温下均表现为p型半导体特征。且经过400℃/2h热处理的WO3纳米棒气敏元件在常温下表现出高灵敏度,快速的响应恢复速率以及杰出的稳定性。利用半导体能级模型分析了WO3纳米棒在室温下对NO2气体的反型机理,这个发现对制备基于WO3纳米棒的室温气敏传感器很有意义。(5)以硅基多孔硅作为生长基底利用三种实验方案分别制备了多孔硅基WO3纳米棒复合结构气敏传感器并研究了它们相应的气敏性能。方案一,利用旋涂法将所制备的WO3纳米棒直接旋涂在多孔硅表面进行复合,考察了这种复合结构气敏传感器随温度变化的灵敏度变化趋势,然后在最佳工作温度200℃下测试了其对NO2气体的动态响应曲线。方案二,利用制备WO3纳米棒的最佳工艺在多孔硅上原位复合了WO3纳米棒,并研究了水热时间对复合结构形貌以及气敏性能的影响。方案三,在实验方案二的基础上调整了其中实验步骤:一改变制备种子层的工艺,二改变加入导向剂NaCl的顺序,系统研究了水热时间,水热温度,导向剂NaCl的加入量,以及种子液浓度对样品形貌的影响并测试了其典型样品的气敏性能。
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