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随着信息技术的发展,电子系统向小型化、集成化、高频化方向发展。磁性材料的薄膜化是实现微磁电子器件的基础。柔性磁性薄膜以聚合物为衬底,具有可弯折、抗冲击、质轻、低成本、低功耗等优点。磁性薄膜的磁各向异性主要包括磁晶各向异性、磁应力各向异性和磁形状各向异性。磁性薄膜的共振频率由其饱和磁化强度和磁各向异性场决定,可以通过调控磁性薄膜的磁各向异性来调控其共振频率。褶皱结构是实现柔性磁电子器件可拉伸的重要方式,同时柔性褶皱结构可以增大磁性薄膜的磁各向异性。柔性磁性薄膜的表面形貌和薄膜的制备方法、薄膜厚度、衬底预应变有关系。首先,我们研究了两种制备柔性褶皱Fe81Ga19（FeGa）薄膜的方法。第一种是在预拉伸平坦的聚二甲基硅氧烷（PDMS）衬底上直接生长Ta和FeGa薄膜,然后释放PDMS预应变,表面形成褶皱形貌,最终薄膜具有一个很小的磁各向异性,该薄膜的磁各向异性主要来源于褶皱表面形成的磁荷产生的偶极相互作用。另一种是在预拉伸平坦的PDMS上生长Ta然后释放PDMS预应变,表面形成褶皱形貌,再生长FeGa薄膜,最终薄膜具有一个较明显的磁各向异性,该薄膜的磁各向异性主要来源于残余应力和不均匀的FeGa薄膜厚度产生的形状各向异性。其次,我们采用第二种制备方法制备具有sin函数形貌的Ta/PDMS衬底,然后再倾斜溅射Fe60Co26Ta14（FeCoTa）薄膜,形成偏离sin函数但周期规则的形貌。在相同的薄膜倾斜溅射角度下,随着PDMS预应变增大,FeCoTa薄膜表面波形形貌的周期减小、振幅增大,同时该薄膜的磁各向异性增大,共振频率和磁导率受Snoek极限,共振频率增大、磁导率减小;在PDMS预应变相同的情况下,随着薄膜倾斜溅射角度增大,FeCoTa薄膜的周期和振幅基本保持不变,但是薄膜表面形貌sin函数的不对称性增大,形成两相造成磁损耗偏大,同时该薄膜的磁各向异性增大。再次,我们以聚偏氟乙烯（PVDF）为衬底生长FeCoTa薄膜,研究该薄膜磁各向异性的热稳定性。当在PVDF衬底上无倾斜溅射生长FeCoTa薄膜时,利用PVDF各向异性热膨胀系数在升温或降温时PDVF收缩或扩张在FeCoTa薄膜面内引入应力,薄膜的磁各向异性随温度变化而变化。当在PVDF衬底上倾斜溅射FeCoTa薄膜时,提高薄膜面内的磁各向异性,在磁性薄膜表面上旋涂一层光刻胶层束缚PVDF衬底的热膨胀,降低了衬底和磁性薄膜之间有效应变传递效率。