衍射是最常见的一种光学现象，由于近代激光和信息技术的出现与发展，使它在精密测量领域显现出广泛的应用前景。智能激光衍射光强测量仪就是这样的一种精密测量仪器。基于该仪器，论文从光学衍射理论出发，结合半导体技术、微机接口技术等，阐述了它的基本原理、结构组成及应用。文章从衍射的角度探讨了微距测量的相关问题。一束激光通过狭缝（细丝）产生衍射图样，线阵SSPA从图样中心横向取样，把光强信号转换成电脉冲，再放大采样保持，经ADC0804模／数转换后输入计算机，运算出暗纹中心所在SSPA光敏元，这样就得到计算缝宽（直径）的重要参数—暗缝中心间距。和传统的衍射过程相比，由于使用半导体传感器和后期数据的计算机处理，最终的测量结果更精确、更科学、更快速。SSPA光敏元中心距仅有几到几十微米，以它为单位得到的暗纹中心距使测量结果更趋精确。文章最后着重讨论了测量误差的产生、来源以及减少误差的方法。衍射法测微距融合了近代的激光、半导体、信息处理技术，成为一种新兴的测量技术，广泛应用于科学实验、工业检测、微仪器等领域，随着人们对其进一步的认识研究，将会有更为广阔的应用前景。