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该论文包括两个部分,分别是软X射线多层膜光栅的理论分析与多层膜闪耀光栅的制备和AFM检测,和TiN/TaN多层膜的表面/界面粗糙分析以及与其硬度的关系.
1.多层膜光栅的理论分析,制备和检测;2.TiN/TaN多层膜的界面粗糙与硬度的研究
【摘 要】
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该论文包括两个部分,分别是软X射线多层膜光栅的理论分析与多层膜闪耀光栅的制备和AFM检测,和TiN/TaN多层膜的表面/界面粗糙分析以及与其硬度的关系.
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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1999年期
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