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精密定位是现代高新科学领域最为关键和共性的基础技术之一,在尖端工业生产和科学研究中占有极其重要的地位,具有广阔的应用前景。为此,本文在设计基于柔性铰链的二维超精微动工件台本体结构,并分析其运动和动力学性能的基础上,采用分布式体系结构和模块化设计思想,以高性能DSP+FPGA为中心测控单元,PA85为功率放大模块,结合控制技术最新研究成果,研发了一套数字式的二维精密工件台驱动控制系统,并实现了系统的集成。研究的主要工作在于:第一章,综合论述开展精密定位技术研究的重要意义,全面分析基于压电陶瓷