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基于SiH4气体的PECVD沉积薄膜的仿真研究

来源 :东南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhoujhipanel

【作 者】

：

林煌辉 

【出 处】

：

东南大学

【发表日期】

：

2021年01期

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