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通过对常用光干涉技术:条纹法、二维傅立叶变换法(FFT)和移相法(PSI)的介绍、分析和比较,引出了在此基础上发展起来的空间载频移相干涉技术(SCPS),它吸收了以上方法的一些优点,是在九十年代出现的一种新的干涉技术,是时域移相技术到空域的转化应用。在文章中,首先结合空间载频技术和移相术对空间载频移相法(SCPS)进行了理论说明论证,重点对用于空间移相的空间载频做了论述;又在理想条件下对不同波面进行了恢复运算,并分析运算中产生误差的来源,提出不同减少运算误差的方法,推出最佳的处理方法同时得到了满意的结果,从而验证在理想条件下的可行性;最后通过处理带有量块信息的实际干涉图,同时结合使用一定的图像处理技术,恢复出量块表面的面形分布及其研合面分布,并提取出量块表面PV值和RMS值,验证了空间载频移相法在实际干涉图处理中的可行性和有效性。