纳米压印技术是一种具有高分辨率、高产量、低成本的加工技术,在微加工领域获得了广泛的应用。经过研究人员二十年的探索,纳米压印技术发展出多种新的分类。其中柔性模板紫外光压印技术是一种非常具有发展前景的压印技术。该技术不仅具有软压印在平面或非平面衬底上共形接触的能力,更兼容了硬压印中高分辨率图形转移的优势。柔性模板紫外光压印技术关键的核心在于制备出性能卓越的柔性模板。通常用作模板材料的聚二甲基硅氧烷（PDMS）是一种具有软弹性的高分子材料,这种软弹性使得PDMS模板在外力较小甚至无需外力的情况下,即可与衬底紧密地共形接触。然而PDMS具有一些不适于作为模板材料的缺点,尤其是PDMS较低的弹性模量限制了其复制小尺度图形的精度。不同于PDMS这类热固性高分子材料,热塑性弹性体结合了传统橡胶的高弹性、可重复使用等性能,以及塑料的易于热处理、加工方便等优点。其中,热塑性嵌段共聚物物聚苯乙烯-聚乙烯-聚丁烯-聚苯乙烯（SEBS）具有高透明度、高柔韧性、良好的化学稳定性,同时可直接热塑加工成型,是一种用途广泛的新材料。本文首先针对商业化的SEBS进行了一系列的物理化学性质的考察,结果表明,SEBS具有良好的热稳定性、较高的弹性模量和卓越的柔韧性,更重要的是SEBS具有较高的紫外透射率。各项性质表明,聚合物SEBS满足作为紫外纳米压印柔性模板的要求。基于SEBS设计了一种快速成型的柔性纳米压印模板。先采用热压印的方式在SEBS表面复制模板结构,再通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）在模板表面沉积一薄层二氧化硅。二氧化硅层不仅透明度高、与SEBS结合性好,更为模板低表面能处理提供反应所需的硅羟基。最终通过气相防粘的方法在二氧化硅层表面形成一层氟碳单分子层,以提高脱模效率。以上步骤制得的SEBS柔性模板克服了 PDMS软弹性带来的图形畸变的缺点,可以获得比PDMS更高分辨率的图形。使用该模板复制的600nm周期的六方点阵结构与原始模板相比具有非常好的保真度。使用SEBS柔性模板进行多次纳米压印实验,使用次数达到10次时仍然能获得良好的压印图形。使用SEBS薄膜代替PDMS制备了紫外纳米压印的复合模板,该复合模板同时具备软模板与衬底正形贴合的能力,以及硬模板精确复制高分辨率图形的能力。在平面衬底压印实验中,获得了最小线宽为50nm的结构,这样的高分辨率得益于复合模板硬质结构层的高模量。在高曲率衬底压印中,采用双转移结合复合模板纳米压印的方法,并施加一定气体压力,在直径小于10微米的光纤表面获得了大面积均匀完整的光栅图形,显示了 SEBS复合模板在高曲率衬底上精确复制微纳图案的能力。