高技术产业是依靠科技创新来成长的核心产业和支柱性的产业,具有高智力、知识密集等特点,它的成长是基于最前沿的技术创新成果,是考量国家或者地区的经济水平实力与对外竞争的重要因素之一,其产业成长发展已然成为了众多国家的制定创新战略的重头戏。各国家和地区异常重视高技术产业的创新发展,因此调整、加大创新人力和物力资源的投入,但是因为我国的国情,经济基础薄弱,科技水平较低,在加大R&D资金投入的步伐、改善产业创新环境的众多努力下却没有带来产出成果的增长,高技术产业的发展过程中出现了重复建设,产业布局不明晰等问题。在产业发展资源有限,发展周期受限的情况下,为了获得更加持续健康的产业增长,就应该将创新放在高技术产业发展的核心地位。党的十八大提出的实施创新驱动发展,着重强调的就是科技创新是提高社会生产力和综合国力的战略支撑。高技术产业是创新驱动的着重落脚点之一,创新驱动需要以高技术产业来实现,在关注创新驱动在高技术产业发展中的作用时,更需注重高技术产业创新驱动绩效水平的提升。是以本文对中国区域高技术产业创新驱动绩效进行研究,对未来各区域高技术创新发展提出对策建议具有不可言喻的现实意义。为了考量创新在各区域高技术产业发展过程中所起到的作用,研究各地区创新驱动绩效差异的波动变化,以及分析影响创新在高技术产业发展的众多指标因素,本文基于高技术产业的特点和创新驱动内涵,对区域高技术产业创新驱动绩效下定义,并且从创新人力投入、创新物力资源投入、经济产出、非经济产出以及创新支撑环境等指标方面构建高技术产业创新驱动绩效评价指标体系。运用熵值法和TOPSIS物元模型结合我国26个省市自治区2010-2014年的高技术产业发展数据实证分析区域高技术产业创新驱动绩效水平,发现我国区域高技术产业现今存在的创新发展问题及其变化趋势。通过实证研究得出:东部地区的绩效得分比中西部地区的绩效得分普遍偏高,经济产出和创新资源的投入对高技术产业的创新驱动绩效影响较大,区域内部高技术产业的发展存在着失衡,我国高技术产业的创新能力整体而言有着偏低的趋势。最后根据绩效分析,对促进我国高技术产业的发展提出实质性的对策建议。