【摘 要】
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本论文介绍了集成电路芯片特性的检测分析和故障诊断的几种测量技术,针对这几种技术在实际应用中存在的问题,本论文首次设计并成功制作一种具有独特结构的微型的电光探测器,
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本论文介绍了集成电路芯片特性的检测分析和故障诊断的几种测量技术,针对这几种技术在实际应用中存在的问题,本论文首次设计并成功制作一种具有独特结构的微型的电光探测器,该探头结构中引入了透明导电电极,借助该参考电极可校准微带传输线上的电场分布,通过该电场分布可以对电路的工作状态进行判断分析。本论文阐述了作为探头材料的极化聚合物的基础理论和制备过程,如何利用外加电场使有机电光材料获得宏观非线性取向的原理;并给出了其电光效应的原理;结合正面入射式电光探测系统阐述并推导了其实现标定电压测量的工作原理。作为探头的应用测试,本论文还设计了几种不同结构的共面波导电路以及对简单的放大电路进行开封,并对其进行测试,得到了比较理想的结果,证明了探头的应用价值。
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