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激光通信在传输处理信息方面的优势使其在空间通信领域占据了日益重要的地位,激光通信系统的驱动构件主要有机械式和非机械式。其中,通过机械控制通信系统中的反光镜来达到光束偏转的目的,目前还是实现空间光通信的主要途径。本文针对目前机械式偏转系统不稳定、响应慢、精度不高、体积和重量大的难点,进行了PLZT反铁电厚膜场致相变应变特性的研究,并对由该效应驱动的微振镜进行了设计与制造。首先进行了PLZT厚膜与硅衬底的异质集成制造及其相关研究。研究了Pb过量和引入缓冲层对PLZT厚膜微观结构的影响,得出了在Pb过量1