超级电容器（SCs）具有快速充电/放电能力、高输出功率和长循环稳定性,在能量储存领域具有广泛的应用前景。然而SCs固有的低能量密度难以满足各种电子产品不断增长的运行需求,这一问题严重阻碍了其应用。科研工作者们近年来致力于开发具有高能量密度的超级电容器,主要针对电极材料的形貌结构优化,提高比表面积以及选择恰当的电解质等方面进行研究。本论文采用反应磁控溅射技术在碳纸（CP）上水热合成的金属有机框架结构（MOFs）上制备过渡金属氮化物Cr N和W2N,随后以MOFs纳米阵列作为牺牲模板通过高温碳化制备的氮掺杂多孔碳（NCs）纳米阵列作为氮化物的载体,主要研究了溅射时间和碳化温度对复合材料的形貌、结构及其单电极电容性能的影响。此外,对单电极复合材料进行了对称超级电容器的组装及其电容性能研究。主要研究内容与结果如下:（1）研究反应磁控溅射制备Cr N薄膜的溅射时间、碳化温度和不同基底对Cr N的物相及形貌影响。结果表明在MOFs基底上,功率为600 W、氮氩气体流量比为35:20、总压为0.5 Pa、溅射时间为30 min,碳化温度为600℃的工艺条件下制备出形貌、性能优异的Cr N薄膜。（2）对制备的Cr N@NCs@CP复合材料进行单电极性能测试,电极在1.0m A cm-2的电流密度下展现了132.1 m F cm-2的比电容,在5.0 m A cm-2的电流密度下进行了充放电循环性能测试,20 000圈后容量保持率为95.9%。对称超级电容器在功率密度为0.41 m W cm-2时,能量密度达到5.28μWh cm-2(2.7 Wh kg-1)。（3）研究反应磁控溅射制备W2N薄膜的溅射时间、碳化温度和不同基底对W2N的物相及形貌影响。结果表明在MOFs基底上,功率为600 W、氮氩气体流量比为30:2.5、总压为0.5 Pa、溅射时间为45 min,碳化温度为600℃的工艺条件下制备出形貌、性能优异的W2N薄膜。（4）对制备的W2N@NCs@CP复合材料进行单电极性能测试,电极在1.0m A cm-2的电流密度下展现了70.2 m F cm-2的比电容,在5.0 m A cm-2的电流密度下进行了充放电循环性能测试,20 000圈后容量保持率为93.8%。对称超级电容器在功率密度为1.76 m Wcm-2时,能量密度达到2.70μWh cm-2。本论文采用反应磁控溅射技术在MOFs@CP上成功制备了具有片状纳米阵列形貌的纳米Cr N和W2N复合材料,MOFs纳米阵列的构建提升了复合材料的比表面积以及高温碳化后形成的NCs纳米阵列与过渡金属氮化物的协同作用都对复合电极电容性能的提升起到了很大的帮助,为其他过渡金属氮化物在超级电容器中的应用提供了实验依据。