数字全息显微术是将数字全息原理与显微成像原理相结合而发展出的新型测量技术。仅需单幅全息图就可以重构得到物光波的相位信息,进而获得物体的表面形貌信息,其具有非接触、分辨率高、测量要求低等优点。本文主要围绕反射式数字全息显微术进行研究,主要内容如下:1.本文提出了一种欠采样条件下相位解包裹方法,且通过理论分析与实验研究验证了该方法的有效性。该方法不仅可以依据包裹相位的欠采样程度灵活选择剪切方向与剪切次数,使得解包裹的效果达到最佳,而且对于存在弱噪声的欠采样情况也可实现高精度的相位恢复。2.本文对三种反射式数字全息显微光路进行实验对比,分析比较其各自优缺点,获得最优实验光路,并采用USAF1951标准分辨率板作为样品进行实验,以验证系统的有效性。然后再对压力敏感芯片进行测量,且对测得的含畸变再现相位进行相位重构,以得到原始的相位信息。最后为了提高离轴数字全息的总像素利用率,对再现像采用可控放大率重构算法进行重构,以得到更清晰的再现像。