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本文用PLD镀膜系统制备了ZnO薄膜，研究了ZnO薄膜的制备以及制备条件对薄膜结构和光学性质的影响。文章通过对PLD镀膜系统在低温ZnO缓冲层上生长ZnO薄膜的讨论，为今后生长更高质量的ZnO薄膜作了一定的铺垫性的工作；对缓冲层在不同退火条件下对薄膜结构、形貌特别是发光性质的影响作了比较具体的讨论并给出一些解释。