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近年来,随着空间技术的发展,应用于小卫星的轻质衬底薄膜太阳电池得到了广泛的研究。在诸多轻质衬底薄膜太阳电池中,柔性衬底非晶硅基薄膜太阳电池在很多方面占有优势。聚酰亚胺薄膜由于其良好的物理化学性能,成为柔性衬底的理想材料。但是由于柔性衬底的采用,也给太阳电池的制备工艺带来了新的问题。 与玻璃等刚性衬底相比,柔性衬底的耐高温性较差,电池的沉积温度不能太高,各层材料的沉积温度一般不应超过200℃。实验在低温下通过调整其它沉积参数制备出高带隙的P型a-SiC:H材料,代替a-Si: