六方密堆积结构的钛铁矿ZnTiO₃是一种重要的微波介质材料。由于其具有类似于刚玉的有序结构，在微波频段内具有极低的损耗。它具有优异的介电性能，而且烧结温度低，可用作制备银、铜电极共烧中温低介微波材料。但是烧结温度过高时ZnTiO₃会分解生成微波频率及其Q值极低Zn₂TiO₄和TiO₂，从而严重影响了系统的介电性能。基于器件小型化、低成本化的特点和要求，以及ZnTiO₃研究现状和存在的问题，本文系统优化了溶胶、凝胶、烧结温度等条件，制备出单一相的纳米ZnTiO₃粉体；通过掺杂Mg²⁺使其取代Zn²⁺，从而使ZnTiO₃相在1100℃下仍保持稳定。具体如下：（1）．无水乙醇、硝酸锌、钛酸丁脂、冰醋酸等浓度及配液次序和pH直接影响着溶胶-凝胶状态特征。干凝胶在850℃热处理5h后，粉体的主晶相为ZnTiO₃,粉体颗粒尺寸约为50nm，但含有Zn₂TiO₄和TiO₂相。（2）．干胶先在700℃保温5小时；再以10℃／min的升温速率继续升温至850℃，保温3小时，可以得到的粉体为单一相ZnTiO₃粉体，此时粉体的颗粒尺寸约为70 nm。（3）．Mg²⁺的加入确实使ZnTiO₃相在高温下得到了稳定，并且随着Mg²⁺含量的增加，ZnTiO₃相的热稳定性及纯度得到有较提高，当Mg²⁺的掺杂量为30％时，粉体在1100℃下可烧结成瓷，且保持纯ZnTiO₃相。该陶瓷均匀、致密，微波介电性能如下：ε_r=27．1、Q×f=-59000GHz、τ_f=-65ppm／℃。